Главная \ Наука \ Тепловые преобразователи на основе мембранной МЭМС-технологии и датчики на их основе

Тепловые преобразователи на основе мембранной МЭМС-технологии и датчики на их основе

Чувствительный элемент

Изготовлен по МЭМС-технологии.тепловые-1
Диапазон измеряемых скоростей: 0.05 – 10 м/с
Время срабатывания: 4 мс.
Энергопотребление (в импульсе): 10 мА.

 

 

Бытовой счетчик расхода газа
тепловые-2Измеряемый диапазон расхода:
     от 0.016 до 6 м3/ч.
Погрешность: 
    не более 3%  от 0.016 до 0.16 м3/ч; 
    не более 1.5% от 0.16 до 6 м3/ч.
Диапазон температур: -30…+60°C.
Напряжение питания: 3.6 В.
Потребляемая мощность: 1.5 мВт.

 

Цифровой ротаметр
тепловые-3Измеряемая среда: воздух.
Рабочий диапазон: от 0.04 до 3 л/мин.
Погрешность измерения: не более 5 %.
Температура среды: от +5 до +40 Сº.
Напряжение питания датчика, 12 В.

 

 

 

 

 

 

В данный момент ведется разработка преобразователя скорости газового потока, преобразователя давления остаточных газов, преобразователя тепловых характеристик газовой среды для индикации взрывоопасных газов (Задание № 16.2475.2017/ПЧ).