Главная \ Услуги \ Изготовление фотошаблонов

Изготовление фотошаблонов

Центр предлагает изготовление фотошаблонов для проведения литографических процессов методами:

  • контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
  • проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или из синтетического кварца, с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: 

•127x127x2,24 мм (5009,

•152х152х6,35 мм (6025), 

•177,4х177,4х3,1 мм (7012).

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов. проектирование фотошаблоны 1

Проектирование. Проверка исходной информации в соответствии с правилами проектирования, фрагментация данных, при необходимости применяется полнофункциональная система коррекции эффектов оптической близости, генерируется выходная информация. На окончательном этапе полученные данные подвергаются преобразованию в управляющую информацию для генераторов изображения.

изготовление фотошаблоны 2 Изготовление. Используется современное лазерное и электронно-лучевое оборудование формирования изображения топологического рисунка, технологические автоматы, контрольно- измерительное оборудования, программные средства и материалы ведущих мировых производителей. В настоящее время Центр фотошаблонов обеспечивает изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм по замкнутому технологическому циклу.

Дополнительные услуги. В процессе эксплуатации в производстве ИС на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты. Центр предлагает ряд дополнительных услуг с фотошаблонами, которые предоставляет Заказчик, позволяющих избежать дополнительных затрат на изготовление нового комплекта, а также минимизировать временные потери при производстве ИС.

Список дополнительных услуг:

•Автоматизированный контроль соответствия топологического рисунка фотошаблона проектным данным и поиск дефектов маскирующего покрытия;

•Устранение дефектов маскирующего покрытия фотошаблона;

•Измерение критических размеров элементов топологического рисунка фотошаблона;

•Отмывка фотошаблона и монтаж пелликла;

•Аттестация координатной системы генераторов изображения.

Минимальный размер на фотошаблоне (мкм)

Тип фотошаблона

Спецификация

Допуск на размер (±мкм)

Совмещение 
(мкм)

Дефекты 
(мкм)

0,6-0,9

Бинарный

≥0,08

≥0,15

≥0,25

1-2

Бинарный

≥0,1

≥0,15

≥0,25

2,5-5

Бинарный

≥0,1

≥0,15

≥0,5

>5

Бинарный

≥0,1

≥0,15

≥0,5

Более подробная информация представлена на сайте http://fotoshablons.ru.