1. |
Автомат разварки выводов 64000 G5 (FGK) |
Германия |
(FGK) Delwoteс GmbH |
64000 G5 |
2007 |
85 |
86 |
2. |
Автоматическое устройство разделения пластин на кристаллы |
Япония |
Disco Abrasive Systems, LTD |
DAD3350 |
2007 |
81 |
72 |
3. |
Атомно-силовой микроскоп SmartSPM (AIST-NT) |
Россия |
AIST-NT |
SmartSPM |
2009 |
80 |
79 |
4. |
Вакуумная печь |
Германия |
ATV Technologie GmbH |
SRO-706 |
2007 |
82 |
82 |
5. |
Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр TOFSIMS-5-100 (IonTOF) |
Германия |
IonTOF |
TOFSIMS-5-100 |
2012 |
81 |
79 |
6. |
Высоковакуумная низкотемпературная система «PlasmoScope-2M» для исследования нанорельефа, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами АСМ/СТМ/МСТ |
Россия |
ПРОТОН-МИЭТ |
PlasmoScope-2M |
2015 |
86 |
91 |
7. |
Двулучевая система Quanta 3D FEG |
Соединённые Штаты Америки |
FEI |
Quanta 3D FEG |
2013 |
94 |
83 |
8. |
Дифрактометр многофункциональный Rigaku SmartLab |
Япония |
Rigaku |
SmartLab |
2014 |
87 |
72 |
9. |
Зондовая установка для анализа пластин и подложек до 150 мм |
Соединённые Штаты Америки |
Cascade Microtech |
PM5 Probe System |
2011 |
88 |
89 |
10. |
Зондовая установка для тестирования микросистем в составе пластин UF200A TOKYO |
Япония |
TOKYO SEIMITSU CO., LTD |
UF200A |
2007 |
89 |
89 |
11. |
Камера климатическая программируемая |
Япония |
Espeс |
MC-811P |
2007 |
80 |
84 |
12. |
Комплекс для измерения и контроля параметров высокочастотных интегральных микросхем и устройств |
Белоруссия |
ДМТ-Электроникс |
ДМТ-518 |
2010 |
85 |
89 |
13. |
Комплекс измерительный параметров аналоговых микросхем и устройств |
Белоруссия |
ДМТ-Электроникс |
ДМТ-219 |
2010 |
86 |
71 |
14. |
Лазерный конфокальный микроскоп VL 2000 DХ (Lasertech) |
Япония |
Lasertech |
VL 2000 DХ |
2008 |
89 |
74 |
15. |
Линия герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки с вакуумной печью и возможностью корпусирования в гелиевой среде |
Великобритания |
Pyramid Engineering Systems Ltd. |
HPS 9206М |
2007 |
90 |
82 |
16. |
Микроскоп сканирующий "Микро 2001-01" (КБТЭМ-СО) |
Белоруссия |
"УП "КБТЭМ-СО"" |
Микро 2001-01 |
2009 |
81 |
79 |
17. |
Микроскоп сканирующий INM 100 |
Соединённые Штаты Америки |
KLA-Tencor |
INM100 |
2007 |
81 |
86 |
18. |
Оже-микрозонд PHI-670xi (Physical Electronics) |
Соединённые Штаты Америки |
Physical Electronics |
PHI-670xi |
2012 |
87 |
74 |
19. |
Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой |
Соединённые Штаты Америки |
KLA-Tencor |
lNM100/DFC290 |
2007 |
82 |
78 |
20. |
Оптический микроскоп VL2000D высокого разрешения |
Соединённые Штаты Америки |
KLA-Tencor |
VL2000D |
2007 |
88 |
75 |
21. |
Оптический профилометр |
Соединённые Штаты Америки |
Veeco Wyko |
NT 9300 |
2010 |
86 |
75 |
22. |
Полуавтоматическая зондовая установка |
Соединённые Штаты Америки |
Cascade Microtech |
Summit 12K |
2005 |
94 |
62 |
23. |
Программно-аппаратный комплекс для проведения процессов с фотошаблонами размером 7 дюймов |
Германия |
Vistec |
7012 |
2011 |
90 |
69 |
24. |
Профилометр Alpha-Step D120 |
Соединённые Штаты Америки |
KLA-Tencor |
Alpha-Step D120 |
2012 |
91 |
66 |
25. |
Проходная камера CK-581 (Multitest Elektronische System) |
Германия |
Multitest Elektronische System GmbH |
CK-581 |
2010 |
84 |
71 |
26. |
Растровый электронный микроскоп JSM-6490LV |
Япония |
JEOL |
JSM-6490LV |
2008 |
89 |
87 |
27. |
Рентгеноскопическая цифровая система контроля микросхем с функцией томографии |
Великобритания |
DAGE Precision Industries Ltd. |
XD7600NT |
2007 |
93 |
69 |
28. |
Система бесконтактного измерения температуры и теплового анализа SC5700 M (FLIR System) |
Соединённые Штаты Америки |
FLIR System |
SC5700 M |
2010 |
95 |
58 |
29. |
Система для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа |
Германия |
Xenos |
XeDraw 2 |
2010 |
90 |
84 |
30. |
Система лазерного разделения пластин со структурами, формируемыми по технологии 3D-сборки |
Россия |
НИИПМ |
. |
2017 |
90 |
79 |
31. |
Система обрезки и формовки выводов |
Соединённые Штаты Америки |
Fancort Industries, Inc. |
5000L-F-3A-F-1A/4 |
2007 |
80 |
87 |
32. |
Система плазменного реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона «Corial 300S» |
Франция |
CORIAL |
Corial 300S |
2015 |
95 |
81 |
33. |
Система по изучению магнитооптического эффекта Керра Neoark BH-PI7892-KI |
Япония |
Neoark |
BH-PI7892-KI |
2014 |
80 |
79 |
34. |
Система электрохимического формирования слоев металла в структурах 3D сборки |
Россия |
НИИПМ |
. |
2017 |
95 |
75 |
35. |
Сканирующий спектральный эллипсометр Horiba Uvisel 2 |
Франция |
Horiba |
Uvisel 2 |
2015 |
83 |
91 |
36. |
Спектральный эллипсометр AutoSe System (HORIBA Jobin Ivon) |
Франция |
HORIBA Jobin Ivon |
AutoSe System |
2012 |
94 |
71 |
37. |
Сухожаровой термошкаф |
Великобритания |
Carbolite |
CR-30 |
2007 |
89 |
86 |
38. |
Термический столик для проведения экспериментов при пониженных и повышенных температурах для растрового электронного микроскопа |
Великобритания |
Deben |
MK3 COOLSTAGE |
2010 |
95 |
58 |
39. |
Технологический комплекс групповой сборки кристаллов и соединения пластин |
Германия |
Suss Microtech |
Substrate bonder SB6 |
2007 |
87 |
74 |
40. |
Технологический комплекс жидкостного травления и химической обработки кремния Mercury style (SCR) |
Чехия |
SCR |
Mercury style |
2007 |
88 |
63 |
41. |
Технологический комплекс напыления тонких пленок металлов |
Соединённые Штаты Америки |
SEGI |
SEGI-RFA3-4TR |
2008 |
87 |
67 |
42. |
Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов SVFUR-PEH4 |
Чехия |
SVCS |
SVFUR-PEH4 |
2007 |
86 |
79 |
43. |
Технологический комплекс плазменного, реактивно-ионного травления кремния и обработки материалов |
Соединённые Штаты Америки |
STS |
STS |
2007 |
84 |
71 |
44. |
Технологический комплекс термических процессов (диффузия и окисление) SVFUR-AH4 (SVCS) |
Чехия |
SVCS |
SVFUR-AH4 |
2007 |
82 |
72 |
45. |
Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля EVG 150 |
Австрия |
EVG |
EVG 150 |
2007 |
83 |
73 |
46. |
Установка автоматического контроля топологии на фотошаблонах |
Белоруссия |
УП «КБТЭМ-ОМО» |
ЭМ-6329 |
2010 |
95 |
82 |
47. |
Установка гидрообработки разделенных пластин |
Чехия |
SCR Engineering s.r.o. |
UH 117 |
2007 |
87 |
68 |
48. |
Установка для акустических исследований объемных структур KSI v-350lm |
Германия |
KSI Sonic Industries GmbH |
KSI v-350lm |
2012 |
88 |
86 |
49. |
Установка для ионного травления и полировки Fischione Instruments Model 1060 SEM Mill |
Соединённые Штаты Америки |
Fischione Instruments |
Model 1060 SEM Mill |
2012 |
83 |
68 |
50. |
Установка измерения поверхностного сопротивления |
Соединённые Штаты Америки |
Lucas Labs |
QuadPRO |
2010 |
85 |
74 |
51. |
Установка контроля акустических шумов LPD-D4000 (BW) |
Соединённые Штаты Америки |
BW |
LPD-D4000 |
2007 |
94 |
81 |
52. |
Установка контроля герметичности с камерой опрессовки в гелии |
Великобритания |
Pyramid Engineering Systems Ltd. |
HLT 560 |
2007 |
88 |
69 |
53. |
Установка монтажа кристаллов методом Flip-chip с возможностью эвтектической пайки PP5/4 (Cefor Ingenierie) |
Франция |
Cefor Ingenierie |
PP5/4 |
2007 |
95 |
58 |
54. |
Установка монтажа кристаллов с возможностью эвтектической пайки PP5/2 (Cefor Ingenierie) |
Франция |
Cefor Ingenierie |
PP5/2 |
2007 |
89 |
67 |
55. |
Установка отмывки полупроводиковых пластин |
Белоруссия |
"УП "КБТЭМ-СО"" |
ЭМ-3027 |
2009 |
87 |
83 |
56. |
Установка плазменной очистки |
Соединённые Штаты Америки |
Yield Engeniering System, Inc. |
YES-G500 |
2007 |
93 |
72 |
57. |
Установка тестирования и УЗ-сварки (полуавтомат) |
Германия |
F&K Delvotec GmbH |
56ХХ |
2007 |
85 |
86 |
58. |
Установка тестирования микросистем UltraFlex (Teradyne) |
Соединённые Штаты Америки |
Teradyne Inc. |
UltraFlex |
2007 |
91 |
69 |
59. |
Установка формирования шариковых выводов с возможностью термо- и ультразвуковой сварки выводов многоуровневых корпусов |
Германия |
F&K Delvotec GmbH |
5310 |
2007 |
89 |
78 |
60. |
Энергодисперсионный спектрометр INCA Energy 350 X-Max20 (Oxford Instruments) |
Великобритания |
Oxford Instruments |
INCA Energy 350 X-Max20 |
2010 |
84 |
91 |
61. |
Энергодисперсионный спектрометр Quantax XFlash 6 |
Германия |
BRUKER Nano |
Qantax X FLASH 6 130 |
2013 |
86 |
73 |