Понедельник, 12 Декабря 2022 г.

На базе ЦКП создана научно-исследовательская лаборатория по рентгеновской литографии

Научно-исследовательская лаборатория «Рентгеновская литография» (НИЛ РЛ)

На базе нашего Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» 1 декабря 2022 года создана Научно-исследовательская лаборатория «Рентгеновская литография» (НИЛ РЛ) создана приказом Ректора МИЭТ № 1054 от 17.11.2022 в структуре научно-технологического центра нано- и микросистемной техники (НТЦ НМСТ):

https://miet.ru/structure/s/1526/s/1531/35

Лаборатория создана рамках Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019-2027 годы, утвержденной постановлением правительства РФ от 16 марта 2020г №287, по теме «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения», Соглашение о предоставлении из федерального бюджета гранта в форме субсидии от 05.10.2021 г. № 075-15-2021-1350 (№ 15.СИН.21.0004), и на основании решения ученого совета МИЭТ от 26 октября 2022 г.

Основными направлениями деятельности лаборатории является:

·        проведение синхротронных исследований и разработок, необходимых для решения принципиально новых фундаментальных и крупных прикладных задач;

·        разработка технологии бесконтактной рентгеновской литографии на базе электроуправляемых МЭМС элементов динамической маски с применением синхротронного и/или плазменного источника;

·        разработка перспективных материалов для создания рефракционных и дифракционных;

·        компонент рентгеновской оптики;

·        разработка программного обеспечения для экспонирования с использованием синхротронного излучения.