? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре

О Центре

МИЭТ

Центр коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» (ЦКП "МСТ и ЭКБ"), созданный в 2002 году, является самостоятельным структурным подразделением федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (http://miet.ru, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1). 

Центр коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» поддержан в рамках ФЦП, работа по развитию Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» осуществляется при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации. Соглашение № 075-15-2019-1650 (вн. № 05.594.21.0018).

ЦКП МСТиЭКБ проводит научные исследования и разработки, а также предоставляет научно-технические услуги учреждениям, предприятиям и организациям. ЦКП оснащен новейшим оборудованием мирового уровня, позволяющим реализовать замкнутый технологический маршрут проектирования интегральных схем и устройств микросистемной техники с последующим изготовлением фотошаблонов и организацией мелкосерийного производства конечной продукции на отечественных производственных мощностях.

Научные направления деятельности ЦКП осуществляются в рамках приоритетного направления развития науки, технологий и техники в Российской Федерации «Индустрия наносистем» и критических технологий Российской Федерации: «Технологии наноустройств и микросистемной техники»; «Технологии создания электронной компонентной базы и энергоэффективных световых устройств»; «Технологии создания энергосберегающих систем транспортировки, распределения и использования энергии»; «Технологии диагностики наноматериалов и наноустройств»; «Нано-, био-, информационные, когнитивные технологии», утвержденных указом Президента Российской Федерации от 7 июля 2011 года № 899.


Текущие проекты «ЦКП МСТ и ЭКБ»:

1.  Грант по теме: «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения», реализуемый в рамках программы по выполнению отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 - 2027 годы, утвержденными постановлением Правительства Российской Федерации от 30 июня 2020 г. № 951.

2. ГЗ по теме «Физико-технологические основы формирования и диагностика перспективных наноматериалов и наноструктур для функциональной электроники и сенсорики».

3. ОКР по теме «Разработка технологии  и комплексного инструмента проектирования широкой номенклатуры СВЧ  и силовых компонентов, изготавливаемых на основе гетероэпитаксиальных структур  нитрида галлия на подложках кремния с проектными нормами до 0,25 мкм».

4.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка новой технологии создания кремниевого фотоумножителя непланарной конструкции».

5.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка новой технологии создания микрофлюидных планарных газохроматографических колонок пилларного типа на кремниевых подложках».

6.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка новой технологии групповой герметизации микрообъёмов кристаллов».

7.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка новой технологии создания твердотельного преобразователя ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона».

8.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка новой технологии модификации кантилеверов для атомно-силовой микроскопии».

9.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка малогабаритного широкодиапазонного теплового вакуумметра, работающего на основе сравнения измерительного MEMS-датчика-сопротивления с компенсационными MEMS-датчиками, находящимися под величинами давления границ диапазона измерения».

10.  СЧ НИОКР по теме: «Разработка новой технологии создания датчика магнитной индукции».

11.  СЧ НИОКР по теме: «Создание опытного образца оборудования: устройства, обеспечивающего контроль доступа животных на придомовые территории, промышленные и инфраструктурные объекты, обеспечивающего контроль доступа животных на объекты инфраструктуры».