? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Услуги / Изготовление фотошаблонов

Изготовление фотошаблонов

Центр предлагает изготовление фотошаблонов для проведения литографических процессов методами:

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или из синтетического кварца, с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: 

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.

проектирование фотошаблоны 1

Проектирование. Проверка исходной информации в соответствии с правилами проектирования, фрагментация данных, при необходимости применяется полнофункциональная система коррекции эффектов оптической близости, генерируется выходная информация. На окончательном этапе полученные данные подвергаются преобразованию в управляющую информацию для генераторов изображения.

изготовление фотошаблоны 2
Изготовление. Используется современное лазерное и электронно-лучевое оборудование формирования изображения топологического рисунка, технологические автоматы, контрольно- измерительное оборудования, программные средства и материалы ведущих мировых производителей. В настоящее время Центр фотошаблонов обеспечивает изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм по замкнутому технологическому циклу.

Дополнительные услуги. В процессе эксплуатации в производстве ИС на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты. Центр предлагает ряд дополнительных услуг с фотошаблонами, которые предоставляет Заказчик, позволяющих избежать дополнительных затрат на изготовление нового комплекта, а также минимизировать временные потери при производстве ИС.

Список дополнительных услуг:


Минимальный размер на фотошаблоне (мкм)

Тип фотошаблона

Спецификация
Допуск на размер (±мкм)
Совмещение 
(мкм)
0,6-0,9 Бинарный ≥0,08 ≥0,15
1-2 Бинарный ≥0,1 ≥0,15
2,5-5 Бинарный ≥0,1 ≥0,15
 >5  Бинарный  ≥0,1 ≥0,15

Более подробная информация представлена на сайте http://fotoshablons.ru.

Метки: контактная фотолитография, проекционная фотолитография, фотошаблоны.