НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ "АНАЛИТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ"

Описание лаборатории 

НИЛ "Аналитические методы исследования поверхностей" была образована в 2014 г. На 2020 г. в состав лаборатории входят 15 сотрудников. Научные исследования в лаборатории проводятся по направлениям анализа образцов нано- и микросистемной техники и наноэлектроники (материалов, тестовых структур, изделий на различной стадии готовности); диагностики технологических процессов и калибровки методик пооперационного контроля в производстве. Лаборатория имеет возможности:

• проведения элементного и химического качественного и количественного анализа структур и изделий нано- и микросистемной техники методами вторично-ионной масс-спектрометрии, оже-спектроскопии, рентгеновской дифрактометрии;
• измерения значений магнитооптических характеристик магнитных пленок;
• определения толщин и оптических характеристик пленок и многослойных структур методом спектральной эллипсометрии;
• проведения многостороннего исследования поверхности образцов методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии.

Сотрудники

Алексеев Александр Михайлович, к.ф.-м.н., зав. лаборатории

Трифонов Алексей Юрьевич, к.ф.-м.н., ведущий инженер

Демин Глеб Дмитриевич, к.ф.-м.н., ведущий научный сотрудник (по совм.), зав. лаборатории НИЛ ИИ

Гусев Евгений Эдуардович, к.т.н., ведущий инженер

Медведев Борис Константинович, д.ф-м.н., ведущий научный сотрудник

Дедкова Анна Александровна, младший научный сотрудник

Знатков Павел Юрьевич, ведущий инженер

Рындина Татьяна Сергеевна, к.ф.-м.н., ведущий инженер

Евсиков Илья Дмитриевич, аспирант, инженер

Грязнева Татьяна Сергеевна, аспирант, инженер

Агарков Евгений Андреевич, инженер

Поздняков Михаил Михайлович, студент II курса магистратуры, техник

Ким Павел Павлович, студент II курса магистратуры, техник

Товарнов Дмитрий Андреевич, студент II курса магистратуры, техник

Проекты

Текущие проекты (2016-2020 гг.)

• Минобрнауки России 14.578.21.0250 "Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм", руководитель Дюжев Н.А. (2017-2020);

• Минобрнауки России 14.581.21.0021 "Исследование и разработка технологии создания высоковольтных силовых MOSFET приборов на карбиде кремния", руководитель Дюжев Н.А. (2017-2020);

• Минобрнауки России 14.575.21.0149 "Разработка гибких органических солнечных фотоэлементов комбинированных с термоэлектрическими преобразователями энергии", руководитель Алексеев А.М. (2017-2020)

• Минобрнауки России 16.2475.2017/ПЧ "Разработка и исследование тепловых преобразователей на основе мембранной МЭМС-технологии для семейства датчиков физических величин", руководитель Дюжев Н.А. (2017-2019);
  Проведено исследование влияния наноструктурирования мембран на характеристики элементов структуры преобразователей. Проведен выбор оптимальной конструкции и материалов для нескольких типов тепловых преобразователей и изготовлены их экспериментальные образцы. 

• Минобрнауки России 14.594.21.0012 "Поддержка и развитие центра коллективного пользования научным оборудованием «Микросистемная техника и электронная компонентная база» для обеспечения реализации приоритетов научно-технологического развития", руководитель Беспалов В.А. (2017-2019); 
  Разработаны методики электрохимического осаждения меди, измерения распределения поверхностного потенциала методом Град. Зонда Кельвина, лазерного разделения пластин со структурами 3D сборки, исследования распределения концентрации фосфора по глубине в кремнии с помощью ВИМС, временного соединения и разъединения пластин на жесткий носитель для работы с тонкими пластинами.

• Минобрнауки России 14.578.21.0188 "Разработка 3D нанотехнологии формирования топологических элементов функциональных слоев на базе локальных рентгеностимулированных процессов химического осаждения из газовой фазы", руководитель Дюжев Н.А. (2016-2018); 
  Проведены работы по разработке макета мембранного узла рентгеновского источника и макета электронно-оптической системы рентгеновского источника. Разработан и изготовлен макет электронно-оптической системы для рентгеновского источника.

• Минобрнауки России 14.578.21.0001 "Создание нового поколения перестраиваемых рентгеновских источников на основе мультичастотной рентгеновской трубки с полевым нанокатодом", руководитель Попков А.Ф. (2014-2016); 
  Изготовлен экспериментальный образец рентгеновского источника на основе полевых наноразмерных катодов. Проведены исследовательские испытания экспериментального образца рентгеновского источника.

• Минобрнауки России 14.578.21.0007 "Создание двухосевого сенсора для систем навигации и ориентирования по магнитному полю Земли на основе наноразмерной тонкопленочной высокочувствительной магниторезистивной структуры", руководитель Дюжев Н.А. (2014-2016); 
  Разработаны математические модели функционирования магниторезистивной структуры и сенсора. Проведена модификация конструкции сенсора с целью упрощения процесса создания прибора. Изготовлены образцы двухосевого сенсора для систем навигации и ориентирования по магнитному полю Земли.

• Минобрнауки России 3.2501.2014/К "Исследование физических процессов в рентгеновском источнике с автоэлектронной эмиссией, изготовленном по технологии МЭМС", руководитель Дюжев Н.А. (2014-2016); 
  Разработана физическая модель интегрального катодного узла с полевым наноразмерным эмиттером. Получены тестовые структуры с интегральным катодным блоком, изготовленные по МЭМС-технологии. Проведены экспериментальные исследования элементов источника рентгеновского излучения.

• РФФИ 13-07-12405 "Разработка принципов создания энергосберегающих элементов ЗУ на основе гетероструктур с магнитным с магнитными и мультиферроидными слоями", руководитель Попков А.Ф. (2013-2016); 
  Проведен анализ влияния структурных изменений в мультиферроике BiFeО3 на несоразмерную магнитную структуру под действием электрического поля.  Выявлен механизм возникновения линейного магнитоэлектрического эффекта в мультиферроике BiFeО3 и проведен анализ эффекта передачи спинового момента продольным током протекания.