Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Центр проектирования изделий "Нано- и микросистемной техники" (ЦПИ НМСТ) / НИЛ "Разработка изделий" (РИ)

Гусев Е.Э.

Инженер (НИЛ "Разработка изделий" (РИ))

Гусев Е.Э. является специалистом в области разработки и исследования высокопрочных металлических и полупроводниковых мембранных структур, а также экспертом в области микросборки изделий нано- и микросистемной техники.

Автор запатентованных методик контроля механических напряжений и механических свойств в тонкопленочных материалах. На текущий момент Гусевым Е.Э. получено 27 результатов интеллектуальной деятельности: 11 патентов на изобретения, 3 патента на промышленные образцы, 5 патентов на полезные модели, 8 свидетельств на программы ЭВМ и топологии ИМС.

Общее количество публикаций – 65.

Scopus AuthorID: 57190162351

ResearcherID: L-7383-2016

ORCID: 0000-0002-2819-2599

Статьи

Experimental Determination of mechanical Properties of the Anode Cell of an X-Ray Lithograph, 2020 г.
Technical Physics – 2020. – Vol. 65, No. 11. – P. 1755–1759
Fast Nondestructive Technique for Analyzing Deflection of Membranes Located on the Substrate, 2020 г.
Russian Journal of Nondestructive Testing – 2020. – Vol. 56, No. 5. – P. 452–459.
Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al, 2020 г.
IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2299-2302.
Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections, 2020 г.
IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2288-2292.
Исследование механической прочности мембранной структуры из SiO2, 2020 г.
Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 43
Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине, 2020 г.
Дефектоскопия – 2020. – №. 5. – С. 52–59.
Отработка технологии адгезивного бондинга кремниевых пластин, 2020 г.
Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 46
Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур, 2020 г.
Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.
Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.
Журнал технической физики –2020. – Tом 90, вып. 11. – C. 1838-1842.
Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.
Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.
The Effect of Ion Beam Etching on Mechanical Strength Multilayer Aluminum Membranes., 2019 г.
Proceedings of the 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2019. – 2019. – С. 1990-1994
ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ДВУХСЛОЙНЫХ МЕМБРАН SIO2/SI3N4 , 2019 г.
Наноиндустрия 2019. – № S (89) – С. 511-514.
Исследование механической прочности мембранной структуры Al/SiO2/Al, 2019 г.
Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 393-396.
Исследование прочностных характеристик мембранных элементов прострельного рентгеновского источника, 2019 г.
Микроэлектроника и информатика - 2019 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов стр. 37
Dependence of Mechanical Stresses in Silicon Nitride Films on the Mode of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.
Semiconductors. – 2018 Vol. 52, Is. 15. – P. 1953-1957
Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.
IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA
Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.
2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия
Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.
Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428
Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.
Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.
IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.
The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.
Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – P. 492–495
Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.
Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337
Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.
Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.
Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.
Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.
Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70
Рентгеновский источник, изготовленный по МЭМС технологии, 2017 г.
Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 572–574
Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.
Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С.552–553.
Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.
Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.
Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.
Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58
Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.
Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254
Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.
Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425
Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.
Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533

Гусев Е.Э.

Статьи

Technical Physics – 2020. – Vol. 65, No. 11. – P. 1755–1759

Russian Journal of Nondestructive Testing – 2020. – Vol. 56, No. 5. – P. 452–459.

IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2299-2302.

IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2288-2292.

Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 43

Дефектоскопия – 2020. – №. 5. – С. 52–59.

Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 46

Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.

Журнал технической физики –2020. – Tом 90, вып. 11. – C. 1838-1842.

Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.

Proceedings of the 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2019. – 2019. – С. 1990-1994

Наноиндустрия 2019. – № S (89) – С. 511-514.

Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 393-396.

Микроэлектроника и информатика - 2019 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов стр. 37

Semiconductors. – 2018 Vol. 52, Is. 15. – P. 1953-1957

IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – P. 492–495

Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.

Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 572–574

Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С.552–553.

Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.

Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58

Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533

Форма обратной связиВаши вопросы, пожелания, отзывы.

Форма обратной связи
Ваши вопросы, пожелания, отзывы.