? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Центр проектирования изделий "Нано- и микросистемной техники" (ЦПИ НМСТ) / НИЛ "Разработка изделий" (РИ)

Гусев Е.Э.

Инженер (НИЛ "Разработка изделий" (РИ))





Статьи

  1. Dependence of Mechanical Stress in Silicon Nitride Film on Conditions of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

    Semiconductors Россия

  2. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

  3. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

  4. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

  5. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

  6. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

  7. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

  8. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  9. Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533

  10. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – P. 492–495

  11. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – Р. 1397–1400

  12. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

  13. Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

  14. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С. 463–468.

  15. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

  16. Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С.461–463.

  17. Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.

  18. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58