2017 г.

Determination of mechanical properties of MEMS membranes

Автор(ы): Дюжев Н. А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А.
Опубликовано: Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254
Статус: -