? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП

Дедкова А.А.

Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)





Статьи

  1. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

    "Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.

  2. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  3. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

  4. Dependence of Mechanical Stress in Silicon Nitride Film on Conditions of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

    Semiconductors Россия

  5. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

  6. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

  7. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

    Нано- и микросистемная техника Россия

  8. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

  9. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

  10. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

  11. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

  12. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  13. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

  14. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С. 463–468.

  15. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70