Дедкова А.А.

Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)

Статьи

1. The Effect of Ion Beam Etching on Mechanical Strength Multilayer Aluminum Membranes., 2019 г.

   Proceedings of the 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2019. – 2019. – С. 1990-1994

2. Исследование прочностных характеристик мембранных элементов прострельного рентгеновского источника, 2019 г.

   Микроэлектроника и информатика - 2019 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов стр. 37

3. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

   ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

4. Dependence of Mechanical Stress in Silicon Nitride Film on Conditions of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

   Semiconductors Россия

5. Dependence of Mechanical Stresses in Silicon Nitride Films on the Mode of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

   Semiconductors. – 2018 Vol. 52, Is. 15. – P. 1953-1957

6. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

   IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

7. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

   2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

8. Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition, 2018 г.

   Nanotechnologies in Russia. – 2018. – Т. 13, № 9-10. – С. 502-507

9. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

   "Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.

10. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

11. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

12. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

13. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

14. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

15. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.

16. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

17. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

18. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425