Дедкова А.А.

Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)

Статьи

1. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

   ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

2. Dependence of Mechanical Stress in Silicon Nitride Film on Conditions of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

   Semiconductors Россия

3. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

   IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

4. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

   2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

5. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

   "Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.

6. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

   Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

7. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

   Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

8. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

   Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

9. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

   IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

10. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

11. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.

12. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

13. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

14. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425