в начало  предыдущее  закрыть  следущее  в конец
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП

Дедкова А.А.

Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)





Статьи

  1. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  2. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

  3. Dependence of Mechanical Stress in Silicon Nitride Film on Conditions of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.

    Semiconductors Россия

  4. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

  5. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

  6. Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.

    Нано- и микросистемная техника Россия

  7. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

  8. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

  9. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

  10. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

  11. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  12. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

  13. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С. 463–468.

  14. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70