Дедкова А.А.
Ведущий инженер (Дирекция ЦКП)

Статьи
- Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.
ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород
- Dependence of Mechanical Stress in Silicon Nitride Film on Conditions of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 2018 г.
Semiconductors Россия
- Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.
IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA
- Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.
2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия
- Анализ ферромагнитных пленок с помощью системы исследования магнитооптического эффекта Керра и спектрального эллипсометра, 2018 г.
"Нано- и микросистемная техника" Том 20, №9, 2018 г.
- Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.
Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия
- Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.
Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428
- Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.
- Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.
IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.
- Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.
Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337
- Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.
Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.
- Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70
- Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.
Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254
- Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.
Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425