? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП

Дюжев Н. А.

Директор ЦКП МСТиЭКБ (Дирекция ЦКП)

Ученая степень: кандидат физико-математических наук


Дюжев Николай Алексеевич родился в 1951 году.

1975 год – Выпускник МИЭТа.

1986 год – Аспирантура МФТИ. Кандидат физико-математических наук.

С 1975 по 2010 г.г. – Инженер, главный технолог, начальник отдела ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»

С 2010 г. – Директор Научно-технологического центра «Нано- и микросистемной техники» (НТЦ НМСТ)

С 2016 г. – Директор Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база (ЦКП МСТиЭКБ).

Круг научных интересов Николая Алексеевича Дюжева включает фундаментальные исследования и прикладные разработки в сфере нано- и микросистемной техники и нановакуумной наноэлектроники.

Автор более 100 научно-технических публикаций, кандидат физико-математических наук.

Имеет большой опыт в проведении как НИР фундаментального характера, так и крупных ОКР по организации производства инновационной продукции. 

В случае заинтересованности в проведении исследований, в том числе совместных работ, Вы можете связаться с руководителем ЦКП "МСТ и ЭКБ".

Зеленоград, Директор ЦКП "МСТ и ЭКБ" Дюжев Н.А.
8 (499) 720-69-08




Статьи

  1. Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters, 2019 г.

    American Vacuum Society Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 022903 (2019); doi: 10.1116/1.5068688

  2. Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometers., 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. – 2019. – Vol. 11022. – P. 110220R

  3. Maskless nanolithography on the basis of microfocus x-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018". – 2019. – Р. 110221M

  4. Microwave Energy Harvester Based on the Magneto-Tunnel Seebeck Effect in the Nanoscale Spin-Torque Diode, 2019 г.

    2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS)

  5. Optimized Design of the MEMS-Based Three-Axis Thermal Accelerometer for Its Better Performance in a Wide Measurement Range, 2019 г.

    2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS)

  6. TCAD-based perfomance analysis of nanoscale vacuum field-emission transistors at advanced technology nodes., 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018". – 2019. – С. 110220O

  7. Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460

  8. Современное состояние элементной базы вакуумной наноэлектроники, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 461-462

  9. Эффективность генерации характеристического излучения Be-содержащих мишеней., 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 445-446

  10. Effect of in situ laser radiation on the parameters of the alumina films fabricated by atomic layer deposition, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  11. Magnetometric MEMS manufacture based on magnetoresistive nanostructures, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  12. Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  13. TCAD-based performance analysys of nanoscale vacuum field-emiccion transistors at advanced technology nodes, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  14. An experimental study on MEMS-based gas flow sensor for wide range flow measurements, 2018 г.

    IEEE USA

  15. An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.

    IVNC 2018

  16. Combined Ultramicrotomy and Atomic Force Microscopy Study of the Structure of a Bulk Heterojunction in Polymer Solar Cells, 2018 г.

    Semiconductors – 2018. – Vol. 52 – No. 1 – P. 105– 111. Россия

  17. Effects of average grain size on the magnetic properties of permalloy films, 2018 г.

    EPJ Web of Conferences USA

  18. Electron Energy Conversion to EUV Radiation in the Kα Line of Be in the "Shooting Through" Geometry, 2018 г.

    Journal of Experimental and Theoretical Physics, 2018, Vol. 127, No. 6, pp. 985–993

  19. Investigation of the Concept of a Miniature X-ray Source Based on Nanoscale Vacuum Field-emission Triode Controlled by Cut-off Grid Voltage, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

  20. Magnetic Field MEMS-Sensor: Functional Characteristics Control during the Formation of Magnetosensitive Structures, 2018 г.

    Defect and Diffusion Forum. – 2018. – Vol. 386. – Р. 161-166

  21. Maskless X-Ray Lithography Based on Microoptical Electromechanical Systems and Microfocus X-Ray Tubes, 2018 г.

    Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. – 2018. – Т. 12, № 5. – С. 944-952

  22. Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.

    IEEE USA

  23. Microfocus X-Ray Tubes with a Silicon Autoemission Nanocathode as an XRay Source, 2018 г.

    Bulletin of the Lebedev Physics Institute Россия

  24. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

  25. Peculiarities of the Influence of Nanostructuring of [SiO2/Si3N4]n Multilayer Membranes on Its Thermal and Mechanical Properties, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus Россия

  26. Separation of a silicon substrate into chips by liquid etching, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

  27. Study of the Effect of Laser Radiation on the Parameters of Alumina Films Formed by Atomic Layer Deposition, 2018 г.

    Nanotechnologies in Russia. – 2018. – Т. 13, № 9-10. – С. 502-507

  28. Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения, 2018 г.

    Российские нанотехнологии / Nanonechnologies in Russia Россия

  29. Конверсия энергии электронов в ЭУФ-излучение Kα-линии Be в «прострельной» геометрии, 2018 г.

    Journal of Experimental and Theoretical Physics Россия

  30. Anisotropic Magnetoresistive Transducers on the Basis of a Self-Aligned Structure , 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – P. 343–345.

  31. Determination of mechanical stress in the silicon nitride films with a scanning electron microscope, 2017 г.

    Proceedings SPIE – 2016. – Vol. 10224. – P. 1022428

  32. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

  33. Effects of average grain size on the magnetic properties of permalloy films, 2017 г.

    Moscow International Symposium on Magnetism MISM-2017 – M. 2017. – P. 141

  34. Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II. – 2017. – Р. 508–511

  35. Formation of Nanosized Coatings in Hybrid Plasma Reactor Combining Magnetron or Arc Deposition with RF Plasma Assistance, 2017 г.

    Materials Science Forum – 2017. – Vol. 900. – P. 137– 140

  36. Magnetoresistive sensor with high sensitivity: self-aligned magnetic structures, 2017 г.

    IEEE International Magnetics Conference INTERMAG-2017 ( Book of abstracts, HP-08) – Dublin, Ireland, 2017.

  37. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  38. Technological Features Influence on Magnetic Sensitivity of Sensor Based on Ferromagnetic Structures , 2017 г.

    Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics – 2017. – 10 (2) – P. 181–185.

  39. The Characteristics of Observation of the Non-uniform Magnetization on the Surface of the Thin Magnetic Films in Ta/CoFeB/MgO/CoFeB/Ta Multilayers, 2017 г.

    Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics – 2017 – 10 (1) – P. 40–44.

  40. Анизотропные магниторезистивные преобразователи на основе самосовмещенной структуры, 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 3. – С. 70–72

  41. Вакуумный МЭМС триод с кремниевым лезвийным автоэмиссионным катодом, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектрони ка-2017» – М.: Техносфера, 2017.– С. 439-443

  42. Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики плёнок диоксида кремния, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т 19. – № 6. – С. 331–337

  43. Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

  44. Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С. 538-541.

  45. Исследование поведения магниторезистивных структур на диэлектрической мембране, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 183-184.

  46. Исследование структуры объемного гетероперехода в полимерных солнечных элементах с помощью комбинации ультрамикротомирования и атомно-силовой микроскопии, 2017 г.

    Физика и техника полупроводников – 2018. – Т. 52. – Вып. 1. – С. 110–117.

  47. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

  48. Рентгеновский источник с прострельной мишенью и перестраиваемой длиной волны, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 391-392.

  49. Рентгеновский источник, изготовленный по МЭМС технологии, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 572–574

  50. Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С.552–553.

  51. Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.

  52. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58

  53. Determination of mechanical properties of MEMS membranes, 2017 г.

    Cборник трудов 3его форума «Новые материалы» – 2017. – С. 251–254

  54. Development and Research of Multifrequency X-ray Tube with a Field Nanocathode, 2017 г.

    Proceedings of the Scientific-Practical Conference “Research and Development - 2016” – Springer, Cham, 2017. – Р. 421–427.

  55. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425