2020 г.

Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии

Автор(ы): Дюжев Н. А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И.
Опубликовано: Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.853-854.