? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Исследование изделий" (ИИ)

Глаголев П.Ю.

Инженер (НИЛ "Исследование изделий" (ИИ))





Статьи

  1. Analysis of Electron Emission from a Single Silicon Cathode to Quasi-Vacuum (Air) Using Atomic Force Microscopy, 2020 г.

    Technical Physics 2020, Vol. 65, No. 11, Р. 1846-1852

  2. Circuit Models of Field Emission Silicon Diode and Transistor with a Nanoscale Vacuum Channel, 2020 г.

    33rd International Vacuum Nanoelectronics Conference IVNC 2020. – 2020. – P. 9203217

  3. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2020 г.

    2019 19TH International Conference On Micro And Nanotechnology For Power Generation And Energy Conversion Applications (POWERMEMS), 2020

  4. Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections, 2020 г.

    IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2288-2292.

  5. Optimization of an Anode Membrane with a Transmission-Type Target in a System of Soft X-Ray Sources for X-Ray Nanolithography, 2020 г.

    Technical Physics – 2020. – Vol. 65., No. 11 – P. 1709-1716

  6. Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии, 2020 г.

    Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, вып. 11. – С. 1931-1937

  7. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.853-854.

  8. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии, 2020 г.

    Журнал технической физики – 2020. – Т. 90, Вып. 11. – С. 1789-1796

  9. Роботизированная перчатка на основе системы магниторезистивных сенсоров для нейрореабилитации пациентов после инсульта, 2020 г.

    Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 521-522

  10. Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters, 2019 г.

    American Vacuum Society Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 022903 (2019); doi: 10.1116/1.5068688

  11. Development of Technological Principles for Creating a System of Microfocus X-Ray Tubes Based on Silicon Field Emission Nanocathodes, 2019 г.

    Technical Physics 2019. – Vol. 64, No. 12. – P. 1742–1748.

  12. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X ray radiation for the maskless X ray lithography, 2019 г.

    PowerMEMS 2019.Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 20515806524

  13. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-Ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2019 г.

    19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 20515806524 (стендовый доклад)

  14. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ДВУХСЛОЙНЫХ МЕМБРАН SIO2/SI3N4 , 2019 г.

    Наноиндустрия  2019.  – № S (89) – С. 511-514.

  15. Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460

  16. Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, 2019 г.

    Журнал технической физики 2019. – Том 89. – вып. 12 – С. 1836-1842.

  17. Усиление термоэлектрических свойств тонкой нанопленки поликристаллического кремния посредством подстройки размера зерна для энергосберегающих применений, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 401-403.

  18. An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.

    IVNC 2018

  19. Peculiarities of the Influence of Nanostructuring of [SiO2/Si3N4]n Multilayer Membranes on Its Thermal and Mechanical Properties, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus Россия

  20. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  21. Исследование поведения магниторезистивных структур на диэлектрической мембране, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 183-184.

  22. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58

  23. Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533