? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Исследование изделий" (ИИ)

Глаголев П.Ю.

Инженер (НИЛ "Исследование изделий" (ИИ))





Статьи

  1. Mechanical Stresses Analysis of Thin Round Membranes in the Case of Large Deflections, 2020 г.

    IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2288-2292.

  2. Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской литографии, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.853-854.

  3. Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters, 2019 г.

    American Vacuum Society Journal of Vacuum Science & Technology B 37, 022903 (2019); doi: 10.1116/1.5068688

  4. Development of Technological Principles for Creating a System of Microfocus X-Ray Tubes Based on Silicon Field Emission Nanocathodes, 2019 г.

    Technical Physics 2019. – Vol. 64, No. 12. – P. 1742–1748.

  5. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X ray radiation for the maskless X ray lithography, 2019 г.

    PowerMEMS 2019.Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 20515806524

  6. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-Ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2019 г.

    19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 20515806524 (стендовый доклад)

  7. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ ДВУХСЛОЙНЫХ МЕМБРАН SIO2/SI3N4 , 2019 г.

    Наноиндустрия  2019.  – № S (89) – С. 511-514.

  8. Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460

  9. Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, 2019 г.

    Журнал технической физики 2019. – Том 89. – вып. 12 – С. 1836-1842.

  10. Усиление термоэлектрических свойств тонкой нанопленки поликристаллического кремния посредством подстройки размера зерна для энергосберегающих применений, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 401-403.

  11. An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.

    IVNC 2018

  12. Peculiarities of the Influence of Nanostructuring of [SiO2/Si3N4]n Multilayer Membranes on Its Thermal and Mechanical Properties, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus Россия

  13. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  14. Исследование поведения магниторезистивных структур на диэлектрической мембране, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 183-184.

  15. Численное моделирование термического напряжения при формировании мембранных микро-электромеханических структур на базе пакетов программ TCAD и COMSOL MULTIPHYSICS, 2017 г.

    Наноструктуры. Математическая физика и моделирование – 2017, 16(1), стр. 41-58

  16. Study of mathematical model of membrane type flow sensor, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Conference February 1 - 3,2017 Part II – 2017. – Р. 530–533