2019 г.

Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Филиппов Н.А., Коротков С.Ю., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И.
Опубликовано: Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460