? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ)

Махиборода М.А.

Директор центра (Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ))

Ученая степень: кандидат физико-математических наук


Родился в 1984 году.

2007 год – Выпускник МФТИ.

2011 год – Аспирантура МИЭМ. Кандидат физико-математических наук.

С 2004 по 2010 г.г. – начальник сектора ФГУП «НИИФП им. Ф.В. Лукина»

С 2010 г. – Начальник Научно-исследовательской лаборатории «Исследование изделий нано- и микросистемной техники» (НИЛ ИИ)

Ученый в области разработки изделий нано- и микросистемной техники и вакуумной наноэлектроники.



Статьи

  1. SPICE-модель электронной системы матричного источника рентгеновского излучения, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.863-864.

  2. Исследование временной деградации кремниевых наноструктур в процессе автоэлектронной эмиссии на основе in-situ методики РЭМ измерений, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.879-880.

  3. Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

    Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.

  4. Atomic force microscopy study of field emission from a single silicon nanotip into a quasi-vacuum (air) medium at the nanoscale, 2019 г.

    5th International Conference on Advanced Energy Materials-2019. Guildford, United Kingdom. Abstract book _

  5. Creation of Acceptor Centers in ZnO Single Crystals by Annealing in Sb Vapor, 2019 г.

    The Journal of Physical Chemistry C 2019. – Том. 134, № 34. – С. 20769-20773.

  6. Development of Technological Principles for Creating a System of Microfocus X-Ray Tubes Based on Silicon Field Emission Nanocathodes, 2019 г.

    Technical Physics 2019. – Vol. 64, No. 12. – P. 1742–1748.

  7. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X ray radiation for the maskless X ray lithography, 2019 г.

    PowerMEMS 2019.Technical Digest Manuscript 2019. – SubID: 20515806524

  8. Formation of a field emission array for the efficient conversion of electron energy into X-Ray radiation for the maskless X-ray lithography, 2019 г.

    19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019) Krakow, Poland, Technical Digest, p.1-4, SubID: 20515806524 (стендовый доклад)

  9. Maskless nanolithography on the basis of microfocus x-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018". – 2019. – Р. 110221M

  10. Optimized Design of the MEMS-Based Three-Axis Thermal Accelerometer for Its Better Performance in a Wide Measurement Range, 2019 г.

    2019 IEEE Sensors Applications Symposium (SAS)

  11. TCAD-based perfomance analysis of nanoscale vacuum field-emission transistors at advanced technology nodes., 2019 г.

    Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018". – 2019. – С. 110220O

  12. Использование метаматериала Ti и TiON для эффективного поглощения солнечной энергии в гибких солнечных элементах, комбинированных с термоэлектрическим преобразователем, 2019 г.

    Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 399-401.

  13. Разработка микрофокусных рентгеновских трубок с использованием кремниевых автоэмиссионных катодных узлов, изготовленных методами МЭМС-технологии, 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 459-460

  14. Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, 2019 г.

    Журнал технической физики 2019. – Том 89. – вып. 12 – С. 1836-1842.

  15. Эффективность генерации характеристического излучения Be-содержащих мишеней., 2019 г.

    Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 445-446

  16. Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  17. An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.

    IVNC 2018

  18. Electron Energy Conversion to EUV Radiation in the Kα Line of Be in the "Shooting Through" Geometry, 2018 г.

    Journal of Experimental and Theoretical Physics, 2018, Vol. 127, No. 6, pp. 985–993

  19. Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.

    IEEE USA

  20. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

  21. Конверсия энергии электронов в ЭУФ-излучение Kα-линии Be в «прострельной» геометрии, 2018 г.

    Journal of Experimental and Theoretical Physics Россия

  22. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

  23. Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II. – 2017. – Р. 508–511

  24. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  25. The Characteristics of Observation of the Non-uniform Magnetization on the Surface of the Thin Magnetic Films in Ta/CoFeB/MgO/CoFeB/Ta Multilayers, 2017 г.

    Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics – 2017 – 10 (1) – P. 40–44.

  26. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – P. 492–495

  27. Вакуумный МЭМС триод с кремниевым лезвийным автоэмиссионным катодом, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектрони ка-2017» – М.: Техносфера, 2017.– С. 439-443

  28. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

  29. Рентгеновский источник с прострельной мишенью и перестраиваемой длиной волны, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 391-392.

  30. Рентгеновский источник, изготовленный по МЭМС технологии, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 572–574

  31. Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.

  32. Development and Research of Multifrequency X-ray Tube with a Field Nanocathode, 2017 г.

    Proceedings of the Scientific-Practical Conference “Research and Development - 2016” – Springer, Cham, 2017. – Р. 421–427.