? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ)

Махиборода М.А.

Заместитель директора центра (Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ))





Статьи

  1. An impact of thermal electron energy on the field-electron emission from nanosized silicon tips, 2018 г.

    IVNC 2018

  2. Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  3. Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.

    IEEE USA

  4. Non-destructive method of surface mapping to improve accuracy of mechanical stresses measurements, 2018 г.

    IOP Conf. Series: Materials Science and Engineering USA

  5. Development and Research of Multifrequency X-ray Tube with a Field Nanocathode, 2017 г.

    Proceedings of the Scientific-Practical Conference “Research and Development - 2016” – Springer, Cham, 2017. – Р. 421–427.

  6. Development and Study of a Conceptual Model of an X-Ray Source with a Field Emission Cathode, 2017 г.

    Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Technique – 2017. – Vol. 11. – No. 2. – Р. 443–448.

  7. Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – Р. 508–511

  8. Evaluation of the field-emission characteristics of the different types of triode structure with the nanoscale vacuum channel , 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II. – 2017. – Р. 1381–1384

  9. Non-Contact Technique for Determining the Mechanical Stress in thin Films on Wafers by Profiler, 2017 г.

    IOP Conf. Ser.: Materials Science and Engineering – 2017. – Vol.189. – P.1–6.

  10. The Characteristics of Observation of the Non-uniform Magnetization on the Surface of the Thin Magnetic Films in Ta/CoFeB/MgO/CoFeB/Ta Multilayers, 2017 г.

    Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics – 2017 – 10 (1) – P. 40–44.

  11. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – P. 492–495

  12. The Influence of Heat Treatment on The Magnitude of Mechanical Stresses in The Process of Forming a Field Emission Cathode-Grid Node, 2017 г.

    Proceedings of the 2017 IEEE Russia Section Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering Confe rence. Part II – 2017. – Р. 1397–1400

  13. Вакуумный МЭМС триод с кремниевым лезвийным автоэмиссионным катодом, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектрони ка-2017» – М.: Техносфера, 2017.– С. 439-443

  14. Разработка и исследование концептуальной модели рентгеновского источника с автоэмиссионным катодом , 2017 г.

    Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – № 4. – С.64–70

  15. Рентгеновский источник с прострельной мишенью и перестраиваемой длиной волны, 2017 г.

    Сборник трудов XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» – Н. Новгород: Издательство Нижегороского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского, 2017. – С. 391-392.

  16. Рентгеновский источник, изготовленный по МЭМС технологии, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 572–574

  17. Формирование планарной поверхности пластин для проведения технологических операций контактной литографии и бондинга, 2017 г.

    Нано- и микросистемная техника – 2017. – Т. 19. – №1. – С. 30–33.