? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Статьи / 2020 г.

2020 г.

Исследование временной деградации кремниевых наноструктур в процессе автоэлектронной эмиссии на основе in-situ методики РЭМ измерений

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Филиппов Н.А., Коротков С.Ю.
Опубликовано: Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.879-880.