2018 г.

Magnetic Field MEMS-Sensor: Functional Characteristics Control during the Formation of Magnetosensitive Structures

Автор(ы): Дюжев Н. А., Чиненков М.Ю., Юров А.С.
Опубликовано: Defect and Diffusion Forum. – 2018. – Vol. 386. – Р. 161-166
Ссылка: www.scientific.net/DDF.386.161
DOI: 10.4028
Статус: Scopus, Web of Science, РИНЦ