2020 г.

Тепловой МЭМС-датчик для измерения субатмосферного диапазона давлений

Автор(ы): Дюжев Н. А., Евсиков И.Д., Орешкин Г.И., Денисов В.Е., Поздняков М.М.
Опубликовано: Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 500-502
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.4s.500.502
Статус: ВАК, РИНЦ

Скачать

Имя файла: Nanoindustriya4.pdf
Размер файла: 115.15 KB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 18:27:13
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 115.15 KB