Суббота, 29 Апреля 2023 г.

В НИУ МИЭТ прошла Школа «Синхротронное излучение и технологии наноэлектроники. Актуальное состояние и перспективы развития»

В рамках XXX-ой Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Микроэлектроника и информатика-2023» 20-21 апреля 2023 года в НИУ МИЭТ прошла Школа «Синхротронное излучение и технологии наноэлектроники. Актуальное состояние и перспективы развития». Программа Школы включала доклады, посвященные современным практическим и теоретическим исследованиям в области рентгеновской оптики и литографии, новым методам исследования, а также изучению уникальных свойств новых перспективных материалов при помощи синхротронного излучения.

Со вступительным словом выступил ректор МИЭТ Беспалов Владимир Александрович. Были заслушаны лекции наших сотрудников, а также приглашенные специалистов из других организаций. Дюжев Николай Алексеевич, канд. физ.-мат., директор ЦКП «МСТ и ЭКБ» МИЭТ выступил с докладом, посвященным перспективам развития рентгенолитографии, в том числе безмасочной, рынку литографического оборудования, а также был рассмотрен план дальнейших опытно-конструкторских работ по разработке отечественных литографических установок.

Доцент кафедры квантовой физики и наноэлектроники МИЭТ Корнеев Виктор Иванович, канд. физ.-мат. наук выступил с докладом, посвященным моделированию прохождения рентгеновского излучения сквозь отверстия в динамической маске (транспарентной). Была проанализирована возможность получения сфокусированного изображения с помощью составных преломляющих линз на длине волны 5 нм.

Об источниках рентгеновского излучения на основе ускорителей рассказал Носик Валерий Леонидович, докт. физ.-мат. наук, Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», Федеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» Российской академии наук. Доклад был посвящен использованию синхротронного излучения для прикладных и фундаментальных исследований в микроэлектронике.

Про применение искусственного интеллекта для диагностики и синтеза перспективных материалов с использованием синхротронного излучения, а также про методы исследования рассказал Солдатов Александр Владимирович, докт. физ.-мат. наук, научный руководитель направления «Науки о материалах и синхротронно-нейтронные исследования», Южный федеральный университет. Основной целью исследований является изучение наноразмерной атомной, электронной и магнитной структур новых перспективных материалов нано-био-медицинских технологий.

С темой, посвященной математическому моделированию конечных деформаций ультратонких элементов динамической маски, выступил Лычев Сергей Александрович, докт. физ.-мат. наук, ведущий научный сотрудник лаборатории Механики технологических процессов в Институте проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук. В докладе обсуждалось развитие математической теории наращиваемых тел при конечных деформациях, а также рассматривались собственные напряжения наращиваемой пластины и полого цилиндра.

О рентгеновской преломляющей оптике рассказал Снигирев Анатолий Александрович, канд. физ.-мат. наук, научный руководитель направления «Когерентная оптика», директор Международного научно-исследовательского центра «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс» в Балтийском федеральном университете им. И. Канта. Доклад был посвящен исследованиям, направленным на разработку и совершенствование рентгенооптических элементов и рентгенооптических устройств нанометрового управления, которые могут применяться для широкого круга исследовательских методик на основе рентгеновского излучения синхротронных и лабораторных источников. Также обсуждалась задача строительства мегаустановок, которая является достаточно сложной и требует вовлечения большого количества профильных специалистов для повышения эффективности технологических решений.

Главной целью Школы являлся обмен опытом в очном режиме общения между участниками проекта по реализации Федеральной научно-технической программе развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 – 2027 годы и молодыми исследователями. Приглашенные ученые являются высококлассными специалистами в своей области, а также обладают высоким индексом цитирования.

Школа была организована в рамках выполнения проекта «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения», реализуемого в соответствии с соглашением о предоставлении гранта № 075-15-2021-1350 от 05.10.2021, номер 15.СИН.21.0004.