? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Статьи / Октябрь 2018 г.

Вторник, 9 Октября 2018 г.

Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line

Автор(ы): Демин Г.Д., Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Чхало Н.И., Ломатин А.Ю., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н.
Опубликовано: ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород