2023 г.

Статьи 2021-2023 года

Опубликовано: Статьи 2021-2023 года

2023 г.

Enhancement in NO₂ sensing properties of SWNTs: A detailed analysis on functionalization of SWNTs with Z-Gly-OH

Gorshkova A., Gorshkov M., Tripathi NishantORCID, Tukmakov K., Podlipnov V., Artemyev D., Mishra Prabhash, Pavelyev V., Platonov Vladimir, Djuzhev N. A.

Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2023, 34(2), 102

2022 г.

Realization of microfluidic preconcentrator for N-Pentane traces tmpurities from the gaseous media

Platonov, V.; Sharma, P.; Ledyaev, M.; Anikina, M.A.; Djuzhev, N.A.; Chinenkov, M.Y.; Tripathi, N.; Parveen, S.; Ahmad, R.; Pavelyev, V.; Melaibari, A.A.

Materials 2022, 15(22), 8090

Investigation of the influence of the parameters of the temporary bonding and thinning operations on the bending of silicon wafers

Djuzhev N.А., Makhiboroda M.А., Gusev E.Е., Fomichev M.U., Dedkova A.А., Ivanin P.S.
Всборнике: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 14. Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021" 2022. С. 1215712.

Techniques for analyzing digital elevation models of surface topography of microelectronics objects

Dedkova A.A., Djuzhev N.A., Florinsky I.V.
Всборнике: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 14. Сер. "International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021" 2022. С. 121571K.

Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности

Дедкова А.А., Флоринский И.В., Дюжев Н.А.
Успехи физических наук. 2022. Т. 192. № 7. С. 754-771.

Методика исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием геоморфометрических подходов

Дедкова А.А., Флоринский И.В., Дюжев Н.А.
Журнал технической физики. 2022. Т. 92. № 8. С. 1113-1123.

Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания

Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
Журнал технической физики. 2022. Т. 92. № 8. С. 1253-1260.

Исследование механических свойств тонкопленочных мембран из оксида и нитрида кремния

Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Махиборода М.А.
Известия Российской академии наук. Механика твердого тела. 2022. № 5. С. 103-113.

Обзор существующих методов микросборки

Беспалов В.А., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Иванин П.С., Махиборода М.А.
Нано- и микросистемная техника. 2022. Т. 24. № 3. С. 124-136.

Возможности и ограничения кмоп-технологии для производства различных микроэлектронных систем и приборов

Беспалов В.А., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю.
Российские нанотехнологии. 2022. Т. 17. № 1. С. 29-45.

Версии:

Possibilities and limitations of cmos technology for the production of various microelectronic systems and devices Bespalov V.A., Dyuzhev N.A., Kireev V.Y. Nanobiotechnology Reports. 2022. Т. 17. № 1. С. 24-38.

Исследование теплового мэмс-сенсора массового расхода газа

Рябов В.Т., Дюжев Н.А.
Наноиндустрия. 2022. Т. 15. № 3-4 (114). С. 216-223.

Разработка планарной мэмс технологии автоэмиссионных металлических наноструктур в качестве элементной базы вакуумной наноэлектроники

Грязнева Т.А., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Дюжев Н.А.
Наноиндустрия. 2022. Т. 15. № S8-2 (113). С. 441-443.

TCAD simulation of sacrificial layer etching in sensitive element of ir microbolometer array based on soi structure

Evsikov I.D., Demin G.D., Djuzhev N.A., Fetisov E.A., Khafizov R.Z.
Проблемыразработкиперспективныхмикро- инаноэлектронныхсистем (МЭС). 2022. № 4. С. 228-233.

2021 г.

Experimental study of the multi-tip field emitter based on the array of silicon pyramidal microstructures

Evsikov I.D., Demin G.D., Gryazneva T.A., Makhiboroda M.A., Djuzhev N.A., Pankratov O.V., Popov E.O., Filippov S.V., Kolosko A.G., Chumak M.A.
Всборнике: 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2021. 34. 2021.

Technology of the fabrication of mo-based diode and triode structures with nanoscale vacuum gap

Gryazneva T.A., Djuzhev N.A., Demin G.D., Filippov N.A., Evsikov I.D., Makhiboroda M.A.
Всборнике: 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2021. 34. 2021.

Analysis of the field emission current from an array of silicon field nanoemitters for portable x-ray systems

Glagolev P.Y., Demin G.D., Djuzhev N.A., Evsikov I.D., Filippov N.A.
Всборнике: 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2021. 34. 2021.

First-principle model of the electron field emission from silicon nano-scale tip

Demin G.D., Djuzhev N.A., Patyukov N.N., Evsikov I.D.
Всборнике: 2021 34th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2021. 34. 2021.

Моделирование чувствительного элемента мэмс датчика давления, работающего на тепловом принципе детектирования

Демин Г.Д., Дюжев Н.А., Поздняков М.М., Евсиков И.Д., Орешкин Г.И.
В сборнике: IEEE XXII Международная конференция молодых специалистов в области электронных приборов и материалов (EDM 2021). Дайджесты. Новосибирск, 2021. С. 120-124.

Experimental study mechanical stresses and strength in multilayer pecvd SIO₂

Gusev E.E., Tovarnov D.A., Dedkova A.A., Onufrienko A.P., Djuzhev N.A.
Всборнике: Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. 2021. С. 2437-2441.

Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of mems-based thermoresistive flow-rate sensors

Djuzhev N.A., Demin G.D., Makhiboroda M.A., Evsikov I.D., Pozdnyakov M.M., Bespalov V.A., Ryabov V.T.
Sensors and Actuators A: Physical. 2021. Т. 330. С. 112832.

Особенности деформирования круглых тонкопленочных мембран и экспериментальное определение их эффективных характеристик

Дедкова А.А., Глаголев П.Ю., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Лычев С.А., Товарнов Д.А.
Журнал технической физики. 2021. Т. 91. № 10. С. 1454-1465.

Исследование динамики разогрева анодных узлов в безмасочном нанолитографе на основе массива микрофокусных рентгеновских трубок

Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Филиппов Н.А.
Журнал технической физики. 2021. Т. 91. № 10. С. 1566-1576.

Методика анализа объемных дефектов по цифровой модели рельефа поверхности

Дедкова А.А., Флоринский И.В., Гусев Е.Э., Дюжев Н.А., Фомичев М.Ю., Штерн М.Ю.
Дефектоскопия. 2021. № 11. С. 41-48.

Версии:

Technique for analyzing volumetric defects using digital elevation model of a surface Dedkova A.A., Gusev E.E., Dyuzhev N.A., Fomichev M.Y., Shtern M.Y., Florinsky I.V. Russian Journal of Nondestructive Testing. 2021. Т. 57. № 11. С. 1000-1007.

Многослойные зеркала на основе y для спектрального диапазона 8-12 нм

Полковников В.Н., Шапошников Р.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Дюжев Н.А., Пудонин Ф.А., Демин Г.Д.
Краткие сообщения по физике ФИАН. 2021. Т. 48. № 12. С. 58-65.

Версии:

Y-based multilayer mirrors for the spectral range of 8–12 nm Polkovnikov V.N., Shaposhnikov R.A., Chkhalo N.I., Salashchenko N.N., Djuzhev N.A., Pudonin F.A., Demin G.D. Bulletin of the Lebedev Physics Institute. 2021. Т. 48. № 12. С. 406-410.

Магнитные свойства тонких поликристаллических пленок пермаллоя для анизотропных магниторезистивных структур

Дюжев Н.А., Демин Г.Д., Медведев Б.К., Андрюшин Р.Н., Носкова Д.Д.
Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 549-551.

Разработка планарной мэмс-технологии автоэмиссионных металлических наноструктур в качестве элементной базы вакуумной наноэлектроники

Грязнева Т.А., Демин Г.Д., Евсиков И.Д., Дюжев Н.А., Махиборода М.А.
Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 552-553.

Мембранный мэмс-датчик давления на тепловом принципе действия для измерения субатмосферного диапазона давлений

Поздняков М.М., Евсиков И.Д., Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Дюжев Н.А., Машевич П.Р.
Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 554-556.

Расчет чувствительности тонкопленочных магниторезистивных сенсоров угла поворота для роботизированной умной перчатки

Глаголев П.Ю., Демин Г.Д., Чиненков М.Ю., Дюжев Н.А.
Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 557-559.

Исследования тепловых мэмс-сенсоров расхода газа: конструкция, расположение в потоке газа и формирование сигнала

Дюжев Н.А., Рябов В.Т., Машевич П.Р., Сретенский В.В., Чиненков М.Ю.
Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 565-566.

Исследование механических свойств тонкопленочных мембран, используемых в мэмс-приборах

Глаголев П.Ю., Гусев Е.Э., Махиборода М.А., Дюжев Н.А.
Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 567-569.

Simulation of a sensitive element of a mems-based pressure sensor operating on the thermal detection principle

Demin G.D., Djuzhev N.A., Pozdnyakov M.M., Evsikov I.D., Oreshkin G.I.
Всборнике: International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM. 22. Сер. "2021 IEEE 22nd International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials, EDM 2021 - Proceedings" 2021. С. 87-90.

Incompatible deformations in additively fabricated solids: discrete and continuous approaches

Lychev S., Koifman K., Djuzhev N.
Symmetry. 2021. Т. 13. № 12.