Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр TOFSIMS-5-100 (IonTOF)

Страна: Германия
Фирма-изготовитель: IonTOF
Марка: TOFSIMS-5-100
Год: 2012

---

Регистрация ионов с массой от 1 до 10 000 а.е.м.; разрешение по глубине от 0.5 ?; параллельное детектирование сразу всего масс-спектра; предел обнаружения бора (В) в кремнии (Si) 1016 ат./см3; предел обнаружения фосфора (P) в кремнии (Si) 1015 ат./см3; предел обнаружения других элементов от 1015 до 1019 ат./см3; линейное разрешение 80 нм