Оже-микрозонд PHI-670xi (Physical Electronics)

Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: Physical Electronics
Марка: PHI-670xi
Год: 2012

---

Вакуум в камере менее 6.7х10-8 Па; разрешение при получении изображения в оже-электронах менее 8 нм при 1 нА 20 кВ; отношения сигнала к шуму при оже анализе 700:1 при 10 нА 10 кВ; разрешение по энергии менее 0.5%; максимальный ток и плотность тока ионной пушки более 5 мкА при 5 кВ и более 3 мА/см2 при 5 кВ