Профилометр Alpha-Step D120 в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной техн

Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: KLA-Tencor
Марка: Alpha-Step D120
Год: 2005

---

Разрешение по вертикали 0.5 нм; длина получаемого изображения 55 мм; диапазон перемещения по вертикали до 1.2 мм; предметный столик (диаметр 200 мм) с сервоприводами для установки образца; диапазон перемещения предметного столика 150х178 мм