Установка для ионного травления и полировки Fischione Instruments Model 1060 SEM Mill

Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: Fischione Instruments
Марка: Model 1060 SEM Mill
Год: 2012

---

Два ионных источника;
формирование полированных шлифов под углами 0-10° на глубину до 2 мм;
возможность загрузки образцов диаметром 25 мм и высотой более 10 мм;
вращение образца на 360°;
непрерывное изменение диапазона энергии ионов от 0,1 кэВ до 6,0 кэВ;
плотность ионного тока до 10 мA/см2;
технологический газ – аргон (Ar);"
вакуум в рабочей камере не хуже 5?10-2 Па.