Технологический комплекс напыления тонких пленок металлов
Страна: Соединённые Штаты АмерикиФирма-изготовитель: SEGI
Марка: SEGI-RFA3-4TR
Год: 2008
Установка магнетронного напыления металлов. Предназначена для напыления тонких пленок металлов (алюминий, титан)