? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Оборудование

Технологический комплекс плазменного, реактивно-ионного травления кремния и обработки материалов

Страна: Соединённые Штаты Америки
Фирма-изготовитель: STS
Марка: STS
Год: 2007
Предназначен для сухого травления кремния (Bosch процесс, изотропное травление кремния), диэлектрических слоев и металлов.