Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов SVFUR-PEH4
Страна: ЧехияФирма-изготовитель: SVCS
Марка: SVFUR-PEH4
Год: 2007
Позволяет проводить PE CVD процессы осаждения нитрида, оксида и оксинитрида кремния.