? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Оборудование

Технологический комплекс пиролитических процессов и плазмостимулированного осаждения материалов SVFUR-PEH4

Страна: Чехия
Фирма-изготовитель: SVCS
Марка: SVFUR-PEH4
Год: 2007
Позволяет проводить PE CVD процессы осаждения нитрида, оксида и оксинитрида кремния.