Технологический комплекс термических процессов (диффузия и окисление) SVFUR-AH4 (SVCS)

Страна: Чехия
Фирма-изготовитель: SVCS
Марка: SVFUR-AH4
Год: 2007

---

Позволяет производить процессы сухого и влажного окисления кремния, диффузии фосфора, нанесения нитрида кремния.