Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля EVG 150

Страна: Австрия
Фирма-изготовитель: EVG
Марка: EVG 150
Год: 2007

---

Полный цикл оборудования для контактной фотолитографии. Включает в себя установки отмывки, проявления и нанесения фоторезиста. Экспонирование производится на установках Suss MA/BA 6 и MA150