Установка автоматического контроля топологии на фотошаблонах

Страна: Белоруссия
Фирма-изготовитель: УП «КБТЭМ-ОМО»
Марка: ЭМ-6329
Год: 2010

---

Минимальный размер обнаруживаемых дефектов 0,25 мкм, размер рабочего поля 153х153 (мм), максимальная высота рамки пелликла 8 мм, форматы проектных данных: ZBA, GDS, DXF, ЭМ-5х09, ЭМ-5х89