Система плазменного реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона «Corial 300S»

Страна: Франция
Фирма-изготовитель: CORIAL
Марка: Corial 300S
Год: 2015

---

Обеспечивает формирование топологических элементов с размерами нанодиапазона в маскирующем слое при прямом переносе изображения методом электронно-лучевой литографии; позволяет осуществлять замкнутый цикл изготовления фотошаблонов, включающий изготовление критических слоев с использованием RET-технологии