Оптический профилометр

Предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа вдоль осей X, Y и Z, параметров шероховатости поверхности и трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов с коэффициентом отражения более 1 % оптическим методом. 

Диапазон измерений линейных размеров вдоль оси Z, нм: от от 2 до 1·1000000. Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм: от 2 до 200000.

Диапазон перемещений моторизованного столика по осям X, Y, мм: от 0 до 205. Диапазон перемещений турели с объективами по оси Z, мм: от 0 до 55. Разрешение вдоль оси Z, нм: 0,1.