Автоматизированное рабочее место измерения характеристик полупроводниковых устройств в диапазоне частот до 40 ГГц для создания их математических моделей

Оборудование позволяет производить: измерения S-параметров, импульсные измерения S-параметров, построение ВАХ полупроводниковых структур на кристалле (транзисторы, транзисторные сборки и т.п.), импульсные измерения ВАХ полупроводниковых структур на кристалл (длительность импульса 200 нс).

Автоматизированное рабочее место измерения характеристик полупроводниковых устройств в диапазоне частот до 40 ГГц для создания их математических моделей включает в себя:

- полуавтоматическую зондовую станцию Summit с интегрированной микрокамерой для защиты от электромагнитных излучений и создания контролируемой окружающей среды;

- тюнеры импеданса с комплектом подключения.

Полуавтоматическая зондовая платформа Summit с интегрированной микрокамерой для защиты от электромагнитных излучений и создания контролируемой окружающей среды обеспечивает измерения на пластинах и субстратах до 200 мм, в т.ч.:

•обеспечивает точное и воспроизводимое контактирование (не хуже чем ± 2 мкм);

•имеет держатель пластин с вакуумными зонами диаметром: 10, 70, 141, 180 мм и планарностью поверхности не хуже чем 50 мкм при нагреве до 300°С  (35 мкм при 25,5° С); 

•обеспечивает построение карты пластины (субстрата) в том числе с учетом кристалл в кристалле.

•обеспечивает навигацию по карте пластины  с использованием полностью цифровой видеосистемы с 100 % полем обзора от установленного объектива, скоростью обновления изображения 45,5 кадров в секунду при разрешении 1024х768 и возможностью дальнейшей модернизации до функции автофокуса, режима «Картинки в картинке»;

•обеспечивает автоматические измерения по карте пластины  по выбранному алгоритму с маркированием кристаллов (электронным) по установленным критериям годности;

•обеспечивает СВЧ калибровку и верификацию в ручном и  автоматическом режиме,  в том числе с применением алгоритмов LRRM, LRM+, SOLT-LRRM; 

•обеспечивает размещение на столешнице  до 4 СВЧ  позиционеров и до 8 позиционеров по постоянному току (одновременно 4 СВЧ позиционера  4  по постоянному току) с возможностью одновременного использования проб-карт; 

•обеспечивает эргономичное размещение тюнеров импеданса MT984AL01 с аксессуарами на столешнице для проведения измерений; 

•обеспечивает возможность модернизации для проведения измерений в температурном диапазоне  от -65° до +300° С на месте установки без замены держателя пластин.

Тюнеры импеданса LXI TUNER 2.4 mm обеспечивают: проведение СВЧ измерений с автоматическим контролем согласования/рассогласования входа и нагрузки активных полупроводниковых устройств в диапазоне 8 – 50 ГГц, верификацию моделей GaAs FET транзисторов:

-частотный диапазон: 8–50 ГГц, тракт 2.4 мм;

-значение КСВН: минимальное – 10:1, типичное – 20:1;

-допустимая мощность: 10 Вт – непрерывная, 100 Вт – импульсная;

-вносимые потери: не хуже 1.15 дБ;

-воспроизводимость: не хуже -40 дБ;

-шаг перемещения: зонда – 0.78 мкм, каретки – 1.27 мкм;

-интерфейс управления: стандарт LXI (USB, LAN).

Комплект дополнительного оборудования позволяет проводить СВЧ измерения такие, как:

•Измерения S-параметров.

•Импульсные измерения S-параметров

•Построение ВАХ полупроводниковых структур на кристалле (транзисторы, транзисторные сборки и т.п.)

•Импульсные измерения ВАХ полупроводниковых структур на кристалл (длительность импульса 200 нс)

Комплект ПО позволяет создавать модели полевых СВЧ транзисторов.