Установка нанесения плёнок методом термического испарения МВУ ТМ ТИС

Страна: Россия
Фирма-изготовитель: НИИТМ
Марка: 100
Год: 2011

---

Установка предназначена для резистивного нанесения плёнок на кремниевые пластины диаметром 100 мм с предварительным нагревом пластины в едином вакуумном цикле. Возможно также использование пластин диаметром 150 мм. Возможно нанесение тонких плёнок из:

- алюминия (Al);

- меди (Cu);

- индия (In);

- висмута (Bi);

- олова (Sn);

- золота (Au);

- серебра (Ag);

- сурьмы (Sb).

Технические характеристики:

Диаметр обрабатываемых кремниевых пластин, мм.  100 или 150

Количество обрабатываемых пластин за цикл, шт.    1

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па   2,6·10^-3

Максимальная мощность нагревателя пластин, кВт     1

Максимальная температура датчика нагрева пластин, °С 200

Количество резистивных испарителей, шт. 1

Максимальная мощность блока питания резистивного испарителя, Вт 600