Отзывы

ФНЦТИО им. ак. В.И.Шумакова Минздрава РФ

Совместно с сотрудниками ЦКП выполняем исследования наноструктур биологических объектов с применением СЭМ/ФИП FEI Quanta 3D FEG, АСМ AIST и др. Хотим отметить высочайший технический и научный уровень специалистов ЦКП и качество исследовательского оборудования и полученных результатов

Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

С ЦКП сотрудничаем давно. Постоянно проводятся работы по измерению толщин металлических пленок:

для аттестационных процессов напыления тонких пленок различных материалов;
для отработки технологий получения новых процессов;
для межоперационного контроля изготовления МЭМС и СБИС.

Проводимые измерения позволяют точно определять скорости напыления различных материалов при различных технологических режимах. Это очень важно для получения пленок требуемых толщин, а также для определения чистоты и качества получаемых пленок (при сравнении Rv получаемых пленок с сопротивлением объемных образцов).

Лаборатория "Нанооптика", Институт физики, Казанский федеральный университет

Начавшееся год назад сотрудничество между ЦКП и Казанским федеральным университетом оправдали ожидания последнего по оперативности и качеству проводимых измерений, используя РЭМ/ФИП FEI Quanta 3D FEG и UVISEL 2 Horiba. Выполненные работы по характеризации и структуризации тонких пленок нитридов переходной группы металлов полностью удовлетворили наши потребности. Высококвалифицированные инженеры ЦКП МСТиЭКБ показали себя как профессиональные исследователи мирового уровня.

Антон Ефимов

НИИТФА

Проводилось измерение теплофизических и электрофизических характеристик тонких полупроводниковых пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку с помощью методов магнетронного напыления.

Следует отметить высокую квалификацию специалистов ЦКП МСТиЭКБ.

Кафедра микроэлектроники, МИЭТ

На базе ЦКП проводились исследования образцов с помощью РМА для НИУ МИЭТ, кафедры МЭ, по определению материалов, их толщины и качеству напыления металлов на кремниевые структуры. Также определяли наличие дефектов у образцов, их размеры и профиль на РЭМ. Полученными результатами полностью удовлетворены, качество работы и фотографий на высоком уровне, оперативно реагировали на изменения в заказе и сделали всё в оговоренные сроки.

Кафедра квантовой физики и наноэлектроники, МИЭТ

Кафедра КФН МИЭТ долгое время пользуется услугами ЦКП МСТиЭКБ. За всё время сотрудничества специалисты центра коллективного пользования оказывали услуги только высочайшего качества. Исследования, произведенные на оборудовании центра, а именно на РЭМ/ФИП FEI Quanta 3D FEG, профилометре, РЭМ JEOL JSM-6490LV и других, позволили разработать технологические процессы создания СВЧ схем на основе гетероструктур арсенида и нитрида галлия. Оборудование и квалификация специалистов ЦКП МСТиЭКБ находятся на высоком мировом уровне.