Кириленко Е.П.

Ведущий инженер (НИЛ "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ))

Статьи

1. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

   Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425