Новиков Д.В.

МНС (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))

Статьи

1. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

   Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

2. Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.

   Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

3. Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.

   Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С.461–463.