Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Разработка технологий" (РТ)
Новиков Д.В.
Начальник лаборатории, МНС (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))

Статьи
- An experimental study on MEMS-based gas flow sensor for wide range flow measurements, 2018 г.
IEEE USA
- Investigation of the Concept of a Miniature X-ray Source Based on Nanoscale Vacuum Field-emission Triode Controlled by Cut-off Grid Voltage, 2018 г.
2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия
- Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.
IEEE USA
- Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.
Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.
- Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.
Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425
- Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.
Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2018. – С.552–553.