? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Разработка технологий" (РТ)

Новиков Д.В.

МНС (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))





Статьи

  1. Finite-element predictive 3D modelling and optimization of membrane-based thermoresistive MEMS accelerometers, 2018 г.

    ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород

  2. An experimental study on MEMS-based gas flow sensor for wide range flow measurements, 2018 г.

    IEEE USA

  3. Investigation of the Concept of a Miniature X-ray Source Based on Nanoscale Vacuum Field-emission Triode Controlled by Cut-off Grid Voltage, 2018 г.

    2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus) Россия

  4. Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.

    IEEE USA

  5. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

  6. Исследование механических свойств многослойных мембран для МЭМС структур, 2017 г.

    Наноиндустрия – 2017. – 4(74). – С. 575–577.

  7. Тепловые преобразователи физических величин, 2017 г.

    Сборник трудов международного форума «Микроэлектроника-2017» – Москва: Техносфера, 2017. – С.461–463.