Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Разработка технологий" (РТ)
Фомичев М.Ю.
Инженер (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))
Статьи
- Отработка технологии адгезивного бондинга кремниевых пластин, 2020 г.
Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 46
- Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур, 2020 г.
Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.