? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Разработка технологий" (РТ)

Фомичев М.Ю.

Инженер (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))





Статьи

  1. Отработка технологии адгезивного бондинга кремниевых пластин, 2020 г.

    Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 46

  2. Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур, 2020 г.

    Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.