Фомичев М.Ю.

Инженер (НИЛ "Разработка технологий" (РТ))

Статьи

1. Отработка технологии адгезивного бондинга кремниевых пластин, 2020 г.

   Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 46

2. Технология временного бондинга для формирования СВЧ МЭМС-структур, 2020 г.

   Наноинтустрия Спецвыпуск 2020. – 2020. – Т. 13, № 4s (99). – C. 503-505.