Рябов В.Т.

Ведущий инженер (НИЛ "Разработка изделий" (РИ))

Статьи

1. Инструментальные средства программирования систем управления вакуумным технологическим оборудованием, 2020 г.

   Наноиндустрия – 2020. –№ S2. – С. 101-106

2. Разработка и интеграция газоанализаторов в информационные системы экологического мониторинга, 2020 г.

   Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 139-140

3. Тепловой МЭМС-сенсор потока для компактного газового хроматографа, 2020 г.

   Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 470-471

4. Automation of the Measurement Process of the Parameters of the Sensitive Elements of the Gas Flow Rate Sensors, 2019 г.

   Russian Microelectronics 2019. – Vol. 48, No. 7. – Р. 490-495.

5. An experimental study on MEMS-based gas flow sensor for wide range flow measurements, 2018 г.

   IEEE USA

6. Measurement system for wide-range flow evaluation and thermal characterization of MEMS-based thermo-resistive flow-rate sensors, 2018 г.

   IEEE USA