Товарнов Д.А.

Инженер (НИЛ "Разработка изделий" (РИ))

Статьи

1. Experimental Determination of mechanical Properties of the Anode Cell of an X-Ray Lithograph, 2020 г.

   Technical Physics – 2020. – Vol. 65, No. 11. – P. 1755–1759

2. Investigation of Mechanical Strength of Membrane Structure Consisting of Al/SiO2/Al, 2020 г.

   IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering - 2020 2020. – P. 2299-2302.

3. Исследование механической прочности мембранной структуры из SiO2, 2020 г.

   Микроэлектроника и информатика – 2020 – 2020. – С. 43

4. Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

   Журнал технической физики –2020. – Tом 90, вып. 11. – C. 1838-1842.

5. Экспериментальное определение механических свойств прострельного анодного элемента рентгеновского литографа, 2020 г.

   Труды XXIV Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника"-2020 2020. – Том 2. – С.861-862.

6. Исследование механической прочности мембранной структуры Al/SiO2/Al, 2019 г.

   Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» 2019. – С. 393-396.

7. Исследование прочностных характеристик мембранных элементов прострельного рентгеновского источника, 2019 г.

   Микроэлектроника и информатика - 2019 26-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Тезисы докладов стр. 37