2019 г.

Современное состояние элементной базы вакуумной наноэлектроники

Автор(ы): Дюжев Н. А., Евсиков И.Д.
Опубликовано: Труды XXIII Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника». – 2019. – С. 461-462