2020 г.

Расчет параметров электростатического управления торсионным микрозеркалом на базе тонкопленочной мембранной структуры

Автор(ы): Чиненков М.Ю., Демин Г.Д., Орешкин Г.И., Белова С.Д., Ким П.П.
Опубликовано: Наноиндустрия – 2020. – Т. 13, № S4 (99). – С. 498-499
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.4s.498.499
Статус: ВАК, РИНЦ

Скачать

Имя файла: Nanoindustriya5.pdf
Размер файла: 109.97 KB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 18:25:20
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 109.97 KB