2020 г.

Структура, состав и свойства кремния, имплантированного ионамицинка и кислорода при повышенной температуре

Автор(ы): Трифонов А.Ю., Привезенцев В.В., Сергеев А.П., Куликаускас В.С., Киселев Д.А., Терещенко А.Н.
Опубликовано: Физика и техника полупроводников – 2020. – Том 54, Вып. 12. – С. 1376-1382
DOI: 10.21883/FTP.2020.12.50242.9501a
Статус: ВАК, РИНЦ

Скачать

Имя файла: Trifonov2020_4.pdf
Размер файла: 1.77 MB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 21:19:17
Тип файла: PDF

 

Размер файла: 1.77 MB