? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / Статьи / 2020 г.

2020 г.

Structure, Composition, and Properties of Zn- and O-Ion Implanted Silicon at Elevated Temperatures

Автор(ы): Трифонов А.Ю., Привезенцев В.В., Сергеев А.П., Куликаускас В.С., Киселев Д.А., Терещенко А.Н.
Опубликовано: Semiconductors – 2020. – Vol. 54, No. 12. – Р. 1650–1656.
DOI: 10.1134/S1063782620120313
Статус: Scopus, Web of Science, РИНЦ

Скачать
Имя файла: Trifonov2020_2.pdf
Размер файла: 2.85 MB
Дата изменения: 26.09.2021 Воскресенье 21:21:05
Тип файла: PDF
 
Размер файла: 2.85 MB