Изготовление фотошаблонов

Центр предлагает изготовление фотошаблонов для проведения литографических процессов методами:

• контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
• проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или из синтетического кварца, с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: 

• 127x127x2,24 мм (5009),
• 152х152х6,35 мм (6025),
• 177,4х177,4х3,1 мм (7012).

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.

Проектирование. Проверка исходной информации в соответствии с правилами проектирования, фрагментация данных, при необходимости применяется полнофункциональная система коррекции эффектов оптической близости, генерируется выходная информация. На окончательном этапе полученные данные подвергаются преобразованию в управляющую информацию для генераторов изображения.

Изготовление. Используется современное лазерное и электронно-лучевое оборудование формирования изображения топологического рисунка, технологические автоматы, контрольно- измерительное оборудования, программные средства и материалы ведущих мировых производителей. В настоящее время Центр фотошаблонов обеспечивает изготовление стандартных бинарных фотошаблонов уровня до 180 нм по замкнутому технологическому циклу.

Дополнительные услуги. В процессе эксплуатации в производстве ИС на фотошаблонах могут образоваться привнесенные дефекты. Центр предлагает ряд дополнительных услуг с фотошаблонами, которые предоставляет Заказчик, позволяющих избежать дополнительных затрат на изготовление нового комплекта, а также минимизировать временные потери при производстве ИС.

Список дополнительных услуг:

• Автоматизированный контроль соответствия топологического рисунка фотошаблона проектным данным и поиск дефектов маскирующего покрытия;
• Устранение дефектов маскирующего покрытия фотошаблона;
• Измерение критических размеров элементов топологического рисунка фотошаблона;
• Отмывка фотошаблона и монтаж пелликла;
• Аттестация координатной системы генераторов изображения.

Минимальный размер на фотошаблоне (мкм)	Тип фотошаблона	Спецификация
		Допуск на размер (±мкм)	Совмещение  (мкм)
0,6-0,9	Бинарный	≥0,08	≥0,15
1-2	Бинарный	≥0,1	≥0,15
2,5-5	Бинарный	≥0,1	≥0,15
>5	Бинарный	≥0,1	≥0,15

Более подробная информация представлена на сайте http://fotoshablons.ru.

---