? ??????  ??????????  ???????  ????????  ? ?????
Главная страница / О Центре / Сотрудники / Дирекция ЦКП / Научно-технологический центр "Нано- и микросистемной техники" (НТЦ НМСТ) / НИЛ "Рентгеновская литография"

Мигунов Д.М.

Ведущий инженер (НИЛ "Рентгеновская литография"), СНС (НИЛ "Рентгеновская литография")





Статьи

  1. Atomic Force Microscopy Study of Cross-Sections of Perovskite Layers, 2019 г.

    Eurasian Chemico-Technological Journal. – 2019. – Vol. 21. – P. 83-87

  2. Fabrication and Study of Parameters and Properties of Nanostructured Membranes for MEMS Devices, 2017 г.

    Nanotechnologies in Russia – 2017. – Vol. 12. – No. 7–8. – P. 414–425

  3. Structural properties of the formation of zinc-containing nanoparticles obtained by ion implantation in Si (001) and subsequent thermal annealing, 2017 г.

    Modern Electronic Materials – 2017. – Vol. 3 – P. 104–109