2018 г.

Maskless nanolithography on the basis of microfocus X-ray tubes: conversion of electron energy into the BeKα line

Автор(ы): Дюжев Н. А., Махиборода М.А., Демин Г.Д., Чхало Н.И., Ломатин А.Ю., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н.
Опубликовано: ICMNE-2018 Россия, МО, г. Звенигород